邹旭东微机电高精度传感人,该文是关于邹旭东论文范文，为你的论文写作提供相关论文资料参考。
邹旭东论文参考文献：
邹旭东1986年生,中国科学院电子学研究所特聘研究员,“青年个人计划”入选者.邹旭东在微机电系统（MEMS）技术领域、特别是在高精度谐振式MEMS～速度（惯性）传感器的设计、制造和测试方面取得了多项国际重大科研成果.自2006年起获首批“国家大学生创新性试验计划”资助进入“北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室”开始从事微机电系统技术领域学习研究,本科期间取得的科研成果在国际学术会议及sC！核心期刊上共发表第一、二作者论文5篇,毕业论文获学院“十佳毕业论文”.2009年前往英国剑桥大学工程系攻读博士学位.在剑桥大学学习、工作期间,以“发明人”身份获得1项英国专利及1项国际专利授权以及2项专利申请.部分学术性研究成果在领域内顶级期刊Journal ofMicroelectromechanical Systom,Sensors and Actuatots A；Physics及顶级国际会议Transducers,IEEE Ultrasonics,Ferroelectricsand Frequency Control,IEEE International Frequency ControlSymposium等发表论文8篇,全部为第一作者.因其杰出的应用性研究成果,于2014年当选为剑桥大学丘吉尔学院院士（Postdoc By Fellow）,为10名入选者中唯一的华人.
邹旭东,中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室特聘研究员.长期从事微机电系统（MEMS）技术及高精度惯性传感器的科研和产品开发工作,熟悉、掌握多种微机电传感器的工作原理、设计优化方法、制造工艺流程和传感器的集成和测试等关键技术,拥有自主、完整的微机电传感器结构芯片设计、工艺制造、电路优化等方面的学术成果、创新产品成果和发明技术专利,获得了国际学术同行和国际一流企业合作方的高度认可.
走进英国剑桥
用微机电传感器助力油气勘探生产技术革新
高精度、微型化的惯性传感器,在国防军事、资源勘探和开发、地质学研究等领域的重要应用价值和巨大应用潜力,历来是世界各国研究的重点.1986年出生的邹旭东已经在这个领域耕耘了10余年,取得了多项具有国际先进水平的研究成果,获得了国际学术界和国际著名企业合作伙伴的高度认可.
2006年,一个山东来的年青人接受首批“国家大学生创新性试验计划”资助进入“北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室”.他叫邹旭东,从那时起,他正式成为微机电系统技术领域的一员.经过3年的历练,邹旭东于2009年毕业,并于本科期间在国际会议及SCI核心期刊上发表了5篇论文,且荣获了“十佳毕业论文”.
从北京大学元培计划实验班毕业后,邹旭东前往英国剑桥大学工程系攻读博士学位,从事高精度谐振式微机电惯性传感器的研发以及微机电谐振器的相关基础研究.做面向应用的研究,是邹旭东在读博士时对自己的要求.而能够开展应用研究往往是在一个相对较为成熟的领域之中进行,要取得成果不完全依赖研究的前沿性,更多的还是源于和应用实践的结合.在过去的几年中,邹旭东最大的体会是学术上的创新源于应用,在实践中发现问题、研究问题,才能更好地通过研究产生学术成果.在英国期间,他的研究聚焦在如何提升谐振式微机电惯性传感器测量精度这一核心问题上,设计了一系列高精度微机电加速度传感器,并以此为核心研发了高精度微型测振仪和微型相对重力仪,用于实现对低频、准静态的加速度信号进行精确的立体测量.这项研究主要是为满足油气行业对分布式井下局域重力场数据获取的需要,要求仪器设备能够在生产井的环境下正常工作,因此对仪器的体积大小,抗震能力,耐高压高温能力等多个方面具有严格的要求.
邹旭东运用完全自主开发的“谐振传感单元、惯性力耦合一放大器和支撑结构联合设计”方法,在保持传感器的微机械结构体积基本不变的情况下,显著提高了谐振式微机电加速度传感器的灵敏度,为实现高精度测量提供了保证.研究过程中,困难是很多的,邹旭东边琢磨、边实验,设计方案不行就想办法改变,逐渐向最后的目標靠近.但是,对于面向应用的科研项目,对技术和时间节点的要求是比较高的.在2012年的冬天,考验还是真正地来了.邹旭东记得那个时候,快过圣诞节了,大家都准备休息度假,而且很多人在一年前就预定了休假路线,而困难就出现在了这样一个特殊的时间点上.年终项目要进行中期测试,只有通过测试证明技术的可行性,研究项目才能获得下一阶段的支持.虽然由于合作代工厂的工艺问题,导致收到传感器核心芯片的时间比计划晚了近两个月,但是项目的进度必须保证.看着不到1个月的时间节点,邹旭东犯愁了,从测试样机的壳体加工,到器件的封装、测试、组装,他和几名助手就是一天24小时不闭眼也做不完.正在他愁眉不展的时候,导师过来帮忙了.跟往日的方向指导不同,导师拿起了电焊,开始焊板子,操起了螺丝刀拧螺丝、做调试,所有琐碎的事,能上手的导师都做.就是这样,吃在单位、住在单位,导师和大家拧成一股绳,最终在限定的时间内完成了测试,研究项目按时完成.这一切让邹旭东感动不已,也让他第一次真正感到了一个团队的力量.
最终,2014年邹旭东带领团队研发的首批高精度井下微型测震仪和微型相对重力仪样机,在外场试验中实现了连续稳定的高分辨率加速度测量和超过3000米距离的信号传输,实测传感器的各项指标均达到设计要求,加速度分辨率在0.1-100Hz范围内均好于1x10-6m/s2/HZ1/2,对准静态加速度信号的最小加速度分辨超过50ng,其对1Hz以下加速度分辨率和线性动态范围两项指标均超过了SerceI公司和壳牌石油和惠普公司开发的高精度电容式MEMS加速度传感器约1个数量级,从而成功研制出了一种小型化、低功耗并能够在油气勘探钻井环境下对局域重力场分布实现高精度测量的传感设备.
为实现上述高精度谐振式微机电加速度传感器的批量生产,真正在市场得到广泛应用,邹旭东和微机电系统芯片代工企业Silex Microsystems公司合作开发了一套基于8英寸硅片的先进微加工工艺流程及相应的设计规范.使用了包括多层SOI硅片键合、大深宽比各向异性刻蚀、硅片通孔连接和带有吸气剂的全片真空封装在内的多项先进工艺,先后攻克了同时精确制备毫米级和微米级微机械结构、消除TSV电学寄生效应和残余应力和全片多层键合真空封装等关键技术.采用该工艺流程生产的加速度传感器芯片成品率超过95%,初步达到批量化生产的要求.
结论：关于邹旭东方面的论文题目、论文提纲、邹旭东同名论文开题报告、文献综述、参考文献的相关大学硕士和本科毕业论文。
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